超快激光器正在薄片玻璃中实现微加工
公布人:新特光电 工夫:2017-05-16 存眷:

科学家正在研讨怎样利用超短脉冲(也称为超快脉冲)激光器将微结构蚀刻到薄片玻璃中。正在阐发利用(片上实验室)和电子及消耗范畴,将微结构刻蚀到薄片玻璃中存在着良多大概的利用。

用超快激光以特定的方法映照玻璃,可以使玻璃对随后的湿法化学蚀刻的敏感度提拔一千倍。那意味着能够经过玻璃块指导直径几微米的激光束,而且随后正在玻璃体内刻蚀出精密的管道。这种方法能够用来创立微型孔,将完备的微流体体系刻蚀到玻璃体中,大概实现具有极高概况质量的切口。

正在这类征象能够成为产业历程之前,起首必必要答复一些成绩。答复这些成绩,也是德国联邦教诲和研讨部(BMBF)帮助的飞秒数字光子出产(Femto Digital Photonic Production)结合研讨项目的方针。

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自2014年以来,德国亚琛工业大学和弗劳恩霍夫激光技术研究所(ILT)的代表们,曾经取六家公司互助,研讨用超快激光脉冲加工通明质料时所呈现的新征象。他们曾经开辟了选择性激光刻蚀(SLE)技能,而且曾经测试了用技能加工几种不同类型的玻璃质料,包罗石英玻璃、蓝宝石、Borofloat 33 玻璃和康宁 Willow 玻璃。正在Borofloat 33 中,激光布局化地区和非布局化地区之间的刻蚀挑选度到达了1000:1,而正在 Willow 玻璃中该数字约到达了100:1。

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正在该项目标下一阶段,将正在亚琛工业大学举行尝试,并正在激光制造历程指令的非线性动力学研讨部(NLD)运转庞大的模仿。光学系统技能(TOS)主席将专注于优化体系中的光学器件。

研究人员正在取三家激光源制造商(Amphos、Edgewave和Trumpf)和三家系统供应商(4JET、LightFab和Pulsar Photonics)互助。他们的方针是为年夜概况利用开辟多光束体系,和为微加工开辟较小的体系。

LightFab公司是降生于亚琛工业大学的一家草创公司。LightFab公司利用SLE技能出产由石英玻璃制造的3D紧密零件。LightFab公司的呆板,大大进步了用于原型制造和系列产品出产的玻璃部件3D打印的生产率,使得能够操纵SLE工艺实现部件的批量出产。

该项目标合作伙伴们看到了该技能的浩繁潜伏利用。对微流体而言,它不但能正在玻璃质料中出产通道,并且借能出产喷嘴和其他微型器件。该技能借能正在钻孔和切割历程中供给共同劣势。刻蚀可以实现无张力质料烧蚀,那一特性具有良多劣势,比方正在半导体技能中制造中介层布局时,这项技能便很是有益。它可以发生 10μm 以下的微型布局。

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